- QRUI-2系列探针台
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QRUI-2系列探针台产品简介:
是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计 ,结构稳定。显微镜平移台可进
行X-Y-Z方向精密位移调节 ,显微镜放大倍率高 ,操作方便。同时支持多种功能的升级 ,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用。
QRUI-2系列探针台产品优势:
显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。 Platen三阶抬杆,便于样品和探针快速分离 ,也可以用于探针卡的扎针。可升级性强 ,最高可升级 220G 高频 ,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。载物台气浮快速移动,可快速定位测试样品
详细参数:
技术参数
产品型号
QRUI-2-100
QRUI-2-150
QRUI-2-200
QRUI-2-300
探针
台本
体
电压电流(可定制)
500V/1A(标准)
500V/1A(标准)
500V/1A(标准)
500V/1A(标准)
材料
航空铝
自适应减震系统
具备自适应减震系统 , 一定程度上可防止外界震动的干扰。
卡盘大小
4" ,360度转动, 可微调
6",360 度转动 ,可微调
8",360 度转动,可微调
12",360 度转动 ,可微调
卡盘行程和精度
4"*4" ,精度 1um,气浮快速移动
6"*6" ,精度 1um,气浮快速移动
8"*8" ,精度 1um,气浮快速移动
12"*12 ,精度 1um,气浮快速移动
卡盘升降功能
Chuck可Z轴升降10mm,精度为1um
卡盘吸附方式
真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附 (适用于薄片或者射频器件)
背电极测试功能
具备 样品台电学独立悬空 , 带 4mm 香蕉头插口
针座 平台
材质
U 型平台 ,镀镍 ,与探针座之间具备更强吸附力
升降
三阶抬杆,接触,分离和架杆;微调行程为30mm,分辨率为1um
大小
最多可放置4~6个探针座
最多可放置8~10个探针座
显示 系统
显微镜成像系统
体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统
倍率范围
15X~100X/60X~420X/20X~4000X
显微镜行程
具备高刚性龙门架结构 ,气动升降 XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 , 精度 1um
CCD 成像系统
200 万/500万像素 ,帧率 60fps ,带拍照/录像/测量功能
探针 座
种类
DMP-200/100/80/75
X-Y-Z 行程
12mm-12mm-12mm
机械精度
0.5um/0.7um/2um/3um
夹具
漏电精度
10pA/100fA/20fA
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等
其它
选件
屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率
电力需求
220V/50HZ
详细配置方案可讨论后给