- QRUI-5系列探针台
- QRUI-5系列探针台
QRUI-5系列探针台简介：
QRUI-5高低温真空探针台是我司自主研发的一款在特殊环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。
QRUI-5系列探针台产品优势：
防辐射屏和热沉设计
降温速度快 ，常温降至 77k<25mins ，大大提高测试效率
液氮自动控制系统 ，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共 同控制温度
详细参数：
产品类型
低温开循环
低温闭循环
型号
QRUI-5-196-N
QRUI-5-196-H
外形
900*900*600mm
1000*1000*600mm
重量
约100KG
约150KG
电力需求
AC220V,50~60HZ
AC380V,50~60HZ
腔体
腔体尺寸
8英寸 ，带4英寸高红外透射率观察窗
样品台尺寸
2英寸/4英寸
2英寸
样品固定方式
真空导热硅脂/弹簧压片
真空度
10^-4pa最高真空
接口形式
电信接口 ，真空接口 ，光纤接口 ，冷源接口等
其它
带防辐射屏和热沉设计
温控系统
制冷方式
液氮
液氦
温控范围
77K~473K
4.2K~450K
温控精度
± 0.1度
温度稳定性
± 0.1度
降温速度
常温降到77k优于25mins
常温降到10k优于180mins
控制方式
液氮自动流量控制
压缩机控制
光学系统
显微镜类型
体式/单筒/金相显微镜
体式/单筒显微镜
移动范围
水平360度旋转 ，Z轴50.8mm调焦/定制其它
真空腔观察窗尺寸
2inch
2inch
CCD像素
50W (模拟) /200W (数字) /500W (数字)
探针臂
探针臂数量
最多6个
X-Y-Z行程
50mm-25mm-25mm
点针精度
10微米/2微米
漏电精度
10pA/100fA
接口形式
三轴/SMA/K/光纤接口
探针
频率范围
DC-67G
1um/2um/5um/10um/20um可选
材质
钨钢 ，铍铜
真空系统
机械泵/分子泵组/离子泵
可选附件
防震桌 ，镀金卡盘 ，气敏测试组件等
应用方向
高低温真空环境下的芯片测试 ，材料测试 ，霍尔测试 ，电磁输运特性等
产品特点
防辐射屏和热沉设计
液氮自动控制系统 ，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度
降温速度快 ，常温降至77k<25mins ，大大提高测试效率
详细配置方案可讨论后给出